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ST-21L方块电阻测试仪半导体薄层电阻仪
ST-21L方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准,专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器,可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
ST-21H方块电阻测试仪以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
ST-21L方块电阻测试仪特点
1、采用大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定,低功耗;
2、以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;
3、采用单个电池供电,带电池欠压指示;
4、体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
5、特制之手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
6、探头带抗静电模块
ST-21L方块电阻测试仪技术参数
测量范围
按方块电阻量值大小分为二个量程档:
1.方块电阻 1.00~19.999Ω/□;
2.方块电阻 10.0~199.99Ω/□;
*小分辨率:0.001Ω/□
恒流源: 测量过程误差:≤±0.8%
模数转换器:
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕显示;极性,超量程均自动显示;小数点同步显示;
测量不确定度:在整个量程范围内,测量不确定度≤5%
四探针探头规格:间距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ
电源:9V叠层电池1节
ST-21L方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格:
型号 (Model) | 曲率半径 (Radius) | 压力 (loads) | 探针间距 (spacing) | 探针排列 (Arrangement) |
HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直线 |
HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直线 |
HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直线 |
HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直线 |
ST-21L方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格
型号 | 曲率半径 | 压力 | 探针间距 | 探针排列 |
SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
ST-21L方块电阻测试仪半导体薄层电阻仪
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